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发明名称 SHOWERHEAD APPARATUS HAVING PLASMA GENERATING PORTIONS
摘要
申请公布号 KR100243446(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970033864 申请日期 1997.07.19
申请人 APEX INC. 发明人 PARK, SANG JOON;BAE, NAM JIN;LEE, KON CHUL;KIM, JAE HO;CHUNG, WOO CHUL;SHIN, IN CHUL;MOON, CHONG;KIM, SANG HO
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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