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发明名称 LENS POWER SUPPLY SEMICONDUCTOR ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR100241697(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970011904 申请日期 1997.03.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 YU, MYEONG SU
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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