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发明名称 Verfahren zum Herstellen von passivierenden duennen Schichten mit verminderter Stoerstoffdiffusion und mit verminderter Ionenwanderung
摘要
申请公布号 DE1619970(A1) 申请公布日期 1970.07.30
申请号 DE19671619970 申请日期 1967.10.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 VINCENT GREGOR,LAWRENCE;HU,SHIH-MING;FRANKLIN MARVEL,ROBERT;RAYMOND PETRAK,JOHN
分类号 H01L21/316;H01L23/29;H01L23/485 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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