| 发明名称 |
PROCEDE DE NETTOYAGE POST-POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE D'UNE COUCHE D'OXYDE OU DE NITRURE DEPOSEE SUR UN SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2769248(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.28 |
| 申请号 |
FR19970012436 |
申请日期 |
1997.10.06 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
FLEURY ALAIN;TARDIF FRANCOIS |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):B05D1/02;B08B3/08;C09K13/08;B05D3/10;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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