| 摘要 |
<p>Ce procédé, qui sert à fabriquer un bolomètre à infrarouge à trois niveaux ayant un facteur de remplissage accru, consiste: à préparer un niveau de matrice active (210) comportant un substrat (212), une paire de bornes de connexion (214) et une couche de protection (216); à former une première couche sacrificielle (300) comportant une paire de cavités sur le niveau de matrice active; à former une paire de passerelles (240) comportant une ligne de conduction (266) formée sur chacune des passerelles; à former une seconde couche sacrificielle (310) comportant une paire de trous (315) sur les passerelles (214) et sur la première couche sacrificielle (300); à former un niveau d'absorption (290) comportant un élément de bolomètre en serpentin entouré par un absorbeur; et à éliminer la seconde et la première couche sacrificielle, respectivement, afin de former le bolomètre à infrarouge à trois niveaux de cette invention.</p> |
