| 发明名称 |
Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59700865(D1) |
申请公布日期 |
2000.01.27 |
| 申请号 |
DE19975000865 |
申请日期 |
1997.02.04 |
| 申请人 |
SINGULUS TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KEMPF, STEFAN;REISING, MICHAEL |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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