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Bei einem mikromechanischen Drehratensensor, basierend auf dem Coriolis-Prinzip, mit zwei schichtartig übereinander in zwei parallelen Ebenen angeordneten und mittels eines elektrostatischen Antriebs zu Schwingungen senkrecht zu den Ebenen anregbaren plattenförmigen Schwingern (7, 8) wird eine streng gegenphasige Anregung der beiden Schwinger dadurch erreicht, daß letztere über jeweils mindestens eine Feder (15) mit einem in der oder den jeweils gleichen Waferschicht(en) ausgebildeten Koppelelement (21, 22) verbunden sind, wobei die Koppelelemente bezogen auf eine Mittenebene zwischen den Schwingern spiegelsymmetrisch zueinander konfiguriert und über einen zwischen diesen Koppelelementen angeordneten Koppelsteg (23a, 23b) miteinander zu einer Koppelstruktur für die Schwinger (7, 8) verbunden sind. DOLLAR A Für Drehratensensoren dieser Gattung lassen sich bei hoher Schwingergüte trotz möglicherweise abweichender Schwingermassen bzw. abweichender Federkonstanten sehr gute Stabilitäten der Schwingeramplituden durch erzwungene Gegenphasigkeit erreichen.
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