| 摘要 |
<p>Für das Strukturieren von Werkstücken (14) durch einen Laserstrahl (2) ist eine hohe Genauigkeit erforderlich, da ansonsten zu große Toleranzen der vorgegebenen Strukturen vorzusehen sind. Im erfindungsgemäßen Verfahren wird eine vor dem Objektiv (8) positionierte Kalibrierplatte (3) vermessen, in dem das Abbild der Kalibrierplatte (3) über das Objektiv (8), eine Ablenkeinrichtung (7) und einen Spiegel (10) auf eine Kamera (11) abgebildet wird. Der Spiegel (10) ist transparent für den Laserstrahl (2). Eine Steuereinrichtung (13) ermittelt die Abbildungsfehler und speichert diese ab. Anschließend schreibt der Laserstrahl (2) eine Testmarkierung auf eine Testplatte (15), die sich vor dem Objektiv (8) befindet. Diese Testmarkierung wird ebenfalls über den Strahlengang: Objektiv (8), Ablenkeinrichtung (7) und Spiegel (10) auf die Kamera (11) abgebildet. Anhand der gemessenen Position der Testmarkierung und unter Berücksichtigung der ermittelten Abbildungsfehler wird der durch die Laserquelle (4) und die Einrichtung (5, 6) zum Formen des Laserstrahls hervorgerufene optische Versatz ermittelt, abgespeichert und bei der Werkstückbearbeitung berücksichtigt.</p> |
