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发明名称
A mold for nano imprinting
摘要
A metal mold comprises a firmly adhering monomolecular non-sticking layer obtained by subjecting the mold to a reaction with a fluoroalkyl compound having a mercapto group. As a result of the reaction, the layer comprises a sulfide of the metal.
申请公布号
SE0000173(D0)
申请公布日期
2000.01.21
申请号
SE20000000173
申请日期
2000.01.21
申请人
OBDUCAT AB
发明人
TORBJOERN *LING;LARS *MONTELIUS;BABAK *HEIDARI
分类号
G03F7/00;(IPC1-7):G03F/
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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