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发明名称 Vorrichtung zum Herstellen dünner Schichten auf Kunststoff-Substraten und zum Ätzen solcher Substrate
摘要
申请公布号 DE4414083(C2) 申请公布日期 2000.01.20
申请号 DE19944414083 申请日期 1994.04.22
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 GEISLER, MICHAEL;GRUENWALD, HEINRICH;JUNG, MICHAEL;ZOELLER, ALFONS;KLUG, WERNER
分类号 C23C16/50;C23C16/505;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50;C23F4/00 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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