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发明名称 Abschirmungs-Anordnung für Vakuumkammer
摘要
申请公布号 DE69513876(D1) 申请公布日期 2000.01.20
申请号 DE19956013876 申请日期 1995.05.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HOSOKAWA, AKIHIRO;DEMARAY, RICHARD E.;BERKSTRESSER, DAVID E.
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34;H01L21/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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