发明名称 |
LIQUID PRECURSOR FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
摘要 |
Composition containing a chlorinated organotin derivative and a polyfluoroalkyl compound and/or a halo polyfluoroalkyl compound useful for CVD formation of fluorine doped tin oxide coatings.
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申请公布号 |
WO0003063(A1) |
申请公布日期 |
2000.01.20 |
申请号 |
WO1999IB01245 |
申请日期 |
1999.07.05 |
申请人 |
MERIENNE, GILLES |
发明人 |
MERIENNE, GILLES |
分类号 |
C03C17/245;C07F7/22;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C03C17/245 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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