发明名称 LIQUID PRECURSOR FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要 Composition containing a chlorinated organotin derivative and a polyfluoroalkyl compound and/or a halo polyfluoroalkyl compound useful for CVD formation of fluorine doped tin oxide coatings.
申请公布号 WO0003063(A1) 申请公布日期 2000.01.20
申请号 WO1999IB01245 申请日期 1999.07.05
申请人 MERIENNE, GILLES 发明人 MERIENNE, GILLES
分类号 C03C17/245;C07F7/22;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
地址