发明名称 Rasterkraftmikroskop
摘要
申请公布号 DE69325409(T2) 申请公布日期 2000.01.20
申请号 DE1993625409T 申请日期 1993.02.25
申请人 TOPOMETRIX, SANTA CLARA 发明人 GAMBLE, RONALD C.;WEST, PAUL E.
分类号 G01B21/30;G01B7/34;G01Q10/00;G01Q20/02;G01Q30/08;G01Q30/14;G01Q70/02;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34;G01N27/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
地址