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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben aus Silicium mit geringer Defektdichte
摘要
申请公布号 DE59700843(D1) 申请公布日期 2000.01.20
申请号 DE19975000843 申请日期 1997.09.11
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 GRAEF, DIETER;VON AMMON, WILFRIED;WAHLICH, REINHOLD;KROTTENTHALER, PETER;LAMBERT, ULRICH
分类号 C30B13/10;C30B13/28;C30B15/04;C30B15/14;C30B29/06;C30B33/02;(IPC1-7):C30B13/28 主分类号 C30B13/10
代理机构 代理人
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