| 发明名称 |
VIBRATIONSUNEMPFINDLICHE TASTSTIFTANORDNUNG EINES PROFILOMETERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69327336(D1) |
申请公布日期 |
2000.01.20 |
| 申请号 |
DE19936027336 |
申请日期 |
1993.09.30 |
| 申请人 |
TENCOR INSTRUMENTS, MOUNTAIN VIEW |
发明人 |
WHEELER, WILLIAM |
| 分类号 |
G01B21/30;G01B7/34;(IPC1-7):G01B7/28;G01B3/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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