发明名称 Stellvorrichtung
摘要 Eine Stellvorrichtung ist mit einem Getriebe, insbesondere einer Spindel (1) und einer damit zusammenarbeitenden Spindelmutter (4) zur Wandlung einer Rotations- in eine Linearbewegung für eine Grobverstellung, und einem in Serie dazu angeordneten piezoelektrischen Linearstellelement (2) zur Feinverstellung versehen. Das piezoelektrische Linearstellelement (2) ist durch ein kardanisches Gelenk (8, 9), das zwischen einer Objektaufnahme (6) und der Spindel (1) angeordnet ist, von Querkräften und Momenten entlastet.
申请公布号 DE19831744(A1) 申请公布日期 2000.01.20
申请号 DE19981031744 申请日期 1998.07.15
申请人 FA. CARL ZEISS 发明人 SCHEIBL, LOTHAR;HOF, ALBRECHT
分类号 F16D3/40;F16H25/20;G01B7/00;H01L41/09;(IPC1-7):F16H25/20;G12B1/00;G01N3/40 主分类号 F16D3/40
代理机构 代理人
主权项
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