摘要 |
Eine Stellvorrichtung ist mit einem Getriebe, insbesondere einer Spindel (1) und einer damit zusammenarbeitenden Spindelmutter (4) zur Wandlung einer Rotations- in eine Linearbewegung für eine Grobverstellung, und einem in Serie dazu angeordneten piezoelektrischen Linearstellelement (2) zur Feinverstellung versehen. Das piezoelektrische Linearstellelement (2) ist durch ein kardanisches Gelenk (8, 9), das zwischen einer Objektaufnahme (6) und der Spindel (1) angeordnet ist, von Querkräften und Momenten entlastet.
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