发明名称 PROCESS FOR PREPARING POLYSILICON USING EXOTHERMIC REACTION HEAT
摘要
申请公布号 EP0972096(A1) 申请公布日期 2000.01.19
申请号 EP19980905845 申请日期 1998.02.13
申请人 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 发明人 KIM, HEE, YOUNG
分类号 C01B33/03;C01B33/035;C30B25/02;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C01B33/03
代理机构 代理人
主权项
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