发明名称 Semiconductor device production method
摘要
申请公布号 GB9927693(D0) 申请公布日期 2000.01.19
申请号 GB19990027693 申请日期 1999.11.23
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 B24B1/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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