| 发明名称 |
BARRIER LAYER FOR FERROELECTRIC CAPACITOR INTEGRATED ON SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0972309(A4) |
申请公布日期 |
2000.01.19 |
| 申请号 |
EP19960923401 |
申请日期 |
1996.06.24 |
| 申请人 |
TELCORDIA TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
RAMESH, RAMAMOORTHY |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01B12/00;H01L21/02;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/06;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L29/92;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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