框架式三维力传感器

摘要

本实用新型涉及传感器技术。其结构是采用三个框架式结构构成三维力传感器,三个框架结构的力敏成方向互相垂直,与直角坐标系X、Y、Z轴一致,每一框架上由二个互相平行的应变梁和与之垂直的二片厚壁组成;在薄片与厚片交线中点连线的薄片上贴有应变器;三个框架结构可以去掉一个做成二维力传感器。本实用新型加工方便,易于连结,灵敏度高,维间耦合低,刚性好,动态性能好,特别适合与机器人手指做在一起。

主权项

1.一种三维力传感器，包括应变片、厚壁、基座，其特征在于，是由A、B、C三个框架式结构连接而成：a.每框架上由二个互相平行的应变梁(7)、(8)、(15)、(16)、(23)、(24)和与之垂直的厚壁(5)、(6)、(13)、(14)、(21)、(22)组成；b.在应变梁(7)、(8)、(15)、(16)、(23)、(24)和厚壁(5)、(6)、(13)、(14)、(21)、(22)直线中占的薄片上贴有应变器(1)、(2)、(3)、(4)、(9)、(10)、(11)、(12)、(17)、(18)、(19)、(20)；c.A、B、C三个框架式弹性体间，A框架的厚壁端(5)和B框架的厚壁端(13)相连，B框架的厚壁端(14)与C框架的厚壁(21)相连，厚壁(14)和(21)是一体的；d.A、B、C三个框架式弹性体的敏感轴互相垂直，与直角座标X、Y、Z轴一致。