Displacement sensor

摘要

Verfahren zum Messen einer Wegänderung eines bewegbaren Teils relativ zu einem festen Bezugspunkt, bei dem eine mit dem bewegten Teil verbundene Inkrementalspur (1) an dem Bezugspunkt digital abgetastet wird und aus dem Ergebnis der digitalen Abtastung ein Ausgangssignal erzeugt wird, das ein Maß für die Wegänderung ist, und einen Wegsensor zur Durchführung dieses Verfahrens. Um die Auflösung der Messung einer Wegänderung entscheidend zu erhöhen und die Taktzeit für die Ausgabe der auszugebenden Daten verringern zu können, schlägt die Erfindung vor, daß die digitale Abtastung zur Grobbestimmung der Wegänderung dient und daß zur Feinbestimmung der Wegänderung die Inkrementalspur (1) an dem Bezugspunkt analog abgetastet wird und das Ausgangssignal mithilfe des Ergebnisses der analogen Abtastung korrigiert wird. <IMAGE>