发明名称 IMPROVEMENTS IN AND RELATING TO THE DEPOSITION OF SILICON NITRIDE FILMS
摘要
申请公布号 GB1222392(A) 申请公布日期 1971.02.10
申请号 GB19680005330 申请日期 1968.02.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23C16/34;H01L21/318 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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