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发明名称 TRANSFER APPARATUS OF WAFER MOUNTING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100240578(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19960058800 申请日期 1996.11.28
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR., LTD. 发明人 KONG, UH-HYUN;LEE, CHANG-BOK
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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