发明名称 |
MANUFACTURING PROCESS OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100237134(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
申请号 |
KR19970002217 |
申请日期 |
1997.01.27 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MAMETANI, TOMOHARU |
分类号 |
H01L27/092;H01L21/265;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L27/085 |
主分类号 |
H01L27/092 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|