发明名称 METHOD OF FORMING AN ELEMENT FIELD OXIDE FILM IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100237023(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19960074985 申请日期 1996.12.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 LEE, DONG-HO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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