| 发明名称 |
CLEANING SYSTEM FOR THE SEMICONDUCTOR EXHAUST GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR200163640(Y1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
| 申请号 |
KR19940005960U |
申请日期 |
1994.03.24 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
CHOI, SAHNG-SOOK |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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