发明名称 DISSOLUTION INHIBITOR FOR THREE COMPONENT PHOTORESIST
摘要
申请公布号 KR100240822(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19980000749 申请日期 1998.01.13
申请人 SAMSUNG GENERAL CHEMICALS CO.,LTD 发明人 LEE, SANG-KYUN;MOON, SEUNG-YOON;KOO, JA-SUN;LEE, TAE-YOUNG;HEO, DAE-HYUN
分类号 G03F7/029;(IPC1-7):G03F7/029 主分类号 G03F7/029
代理机构 代理人
主权项
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