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发明名称
DISSOLUTION INHIBITOR FOR THREE COMPONENT PHOTORESIST
摘要
申请公布号
KR100240822(B1)
申请公布日期
2000.01.15
申请号
KR19980000749
申请日期
1998.01.13
申请人
SAMSUNG GENERAL CHEMICALS CO.,LTD
发明人
LEE, SANG-KYUN;MOON, SEUNG-YOON;KOO, JA-SUN;LEE, TAE-YOUNG;HEO, DAE-HYUN
分类号
G03F7/029;(IPC1-7):G03F7/029
主分类号
G03F7/029
代理机构
代理人
主权项
地址
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