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发明名称
WAFER TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号
KR100239785(B1)
申请公布日期
2000.01.15
申请号
KR19970001788
申请日期
1997.01.22
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
CHOI, JEONG-SEOK
分类号
H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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