发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH A STACKED CAPACITOR
摘要
申请公布号 KR100238615(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970022914 申请日期 1997.06.03
申请人 NEC CORPORATION 发明人 WATANABE, HIROHITO
分类号 H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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