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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH A STACKED CAPACITOR
摘要
申请公布号
KR100238615(B1)
申请公布日期
2000.01.15
申请号
KR19970022914
申请日期
1997.06.03
申请人
NEC CORPORATION
发明人
WATANABE, HIROHITO
分类号
H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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