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发明名称
FABRICATION METHOD FOR THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRAY
摘要
申请公布号
KR100239046(B1)
申请公布日期
2000.01.15
申请号
KR19960042762
申请日期
1996.09.25
申请人
DAEWOO ELECTRONICS CO.,LTD
发明人
UM, MIN-SICK
分类号
G02F1/015;(IPC1-7):G02F1/015
主分类号
G02F1/015
代理机构
代理人
主权项
地址
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