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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100239026(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19930023938 申请日期 1993.11.11
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 HORI, MASARU;OKANO, HARUO;AOYAMA, MICHINARI;ITO, MASAO;HATTORI, KEI;HIGUCHI, FUMIHIKO;TAWARA, YOSHIFUMI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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