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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR200165878(Y1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19960038413U 申请日期 1996.11.05
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 HA, SAHNG-UK
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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