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发明名称 VENT DEVICE OF VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 KR200163940(Y1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19940002061U 申请日期 1994.02.03
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 SO, BOM MUN
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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