发明名称 METAL PATTERN FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100239400(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19960061270 申请日期 1996.12.03
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 SONG, BYUNG-SUNG;MIN, BU-HUNG
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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