发明名称 NITROGEN CONCENTRATION MEASURING METHOD USING THERMAL OXIDATION
摘要
申请公布号 KR100238203(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19960040696 申请日期 1996.09.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 BANG, SUK CHUL;LEE, KI HUN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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