| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF THIN-FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100237709(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
| 申请号 |
KR19960036623 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
OGASAWARA, TAKAO;UEMOTO, TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/223;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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