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发明名称
TRANSFER STAGE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
KR200163637(Y1)
申请公布日期
2000.01.15
申请号
KR19960015754U
申请日期
1996.06.13
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
KO, KYOK-JUN;CHOI, SANG-KUK;AHN, WON-SIK;PARK, JONG-DAE
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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