发明名称 TRANSFER DEVICE OF SOLID STATE PRECURSOR
摘要
申请公布号 KR100239689(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19950046196 申请日期 1995.12.02
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, SHI-WOO;KIM, BYONG-YEUP;LEE, KYONG-IL
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址