发明名称 HEAT CHANGING DEVICE OF ETCHANT
摘要
申请公布号 KR100237893(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19960040121 申请日期 1996.09.16
申请人 KEC CORP. 发明人 HONG, KI SUK
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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