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发明名称 DOOR OPENING APPARATUS OF PROCESS CHAMBER IN BAKING SYSTEM FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100238944(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970000382 申请日期 1997.01.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 WOO, JAE-YOUNG;CHOI, WOO-YOUL
分类号 H01L21/677;F27B17/02;F27D1/18;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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