| 发明名称 |
SURFACE POSITION DETECTING METHOD AND APPARATUS AND SCANNING EXPOSURE METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100240371(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
| 申请号 |
KR19960032446 |
申请日期 |
1996.08.03 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YAMADA, YUICHI;UZAWA, SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00;G03F9/02 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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