PROCESS AND APPARATUS FOR REACTIVE COATING OF A SUBSTRATE,申请号KR19910018055-传众专利搜索

发明名称	PROCESS AND APPARATUS FOR REACTIVE COATING OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR100239818(B1)	申请公布日期	2000.01.15
申请号	KR19910018055	申请日期	1991.10.14
申请人	BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDIN	发明人	RUDOLF, LATZ;MICHAL, SCHANZ;MICHAL, SCHERER;JOACHIM, SZCZYRBOWSKI
分类号	C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
地址