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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100240647(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970039496 申请日期 1997.08.20
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 KIM, CHEON-SOO;PARK, MIN;YU, HYUN-KYU
分类号 H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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