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发明名称 A COATING APPARATUS PROVIDE WITH A SUPPLY PORT CLEANER
摘要
申请公布号 KR100240210(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970012175 申请日期 1997.04.02
申请人 DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K. 发明人 ISEKI, IZURU;TAKAHASHI, TETSU
分类号 G03F7/16;B05C5/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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