MICROSYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAME

摘要

Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben. Das erfindungsgemässe Mikrosystem enthält als Hauptelemente sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksame Bestandteile, die in Form von kleinvolumigen Komponenten, beispielsweise als Fasern oder Pulver, vorliegen. Unter kleinvolumig ist hierbei insbesondere zu verstehen, dass diese Komponenten zumindest in einer Dimension Abmessungen von weniger als 200 mu m aufweisen. Die Komponenten werden erfindungsgemäss ohne ein Substrat allein von ihren funktionsvermittelnden Elementen getragen. Die funktionsvermittelnden Elemente sind für die sensorische und/oder aktorische und/oder optische Funktion der Komponenten notwendig. Durch Verzicht auf ein Substrat und die Verwendung der funktionsvermittelnden Elemente in einer Doppelfunktion, d.h. zur Erzeugung der mechanischen Stabilität des Systems und zur beispielsweise elektrische Ansteuerung der Komponenten, können das Volumen und die Steifigkeit des Systems erheblich reduziert werden.