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发明名称 Dielektrischer Dünnfilm aus Barium und/oder Strontium-Titanat mit Erbium und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69513782(D1) 申请公布日期 2000.01.13
申请号 DE19956013782 申请日期 1995.09.25
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS 发明人 TSU, ROBERT YUNG-HSI;KULWICKI, BERNARD M.
分类号 C04B35/46;H01B3/12;H01L21/02;(IPC1-7):C04B41/50;C04B35/465;H01G4/12;H01L21/320;H01L29/92 主分类号 C04B35/46
代理机构 代理人
主权项
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