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发明名称 Vorrichtung zur Bestimmung der Gaskonzentration in einer Vakuumkammer
摘要
申请公布号 DE4138927(C2) 申请公布日期 2000.01.13
申请号 DE19914138927 申请日期 1991.11.27
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 DAUBE, CHRISTOPH;KOPACZ, UWE;BELZ, ALFRED
分类号 C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/54;G01N27/62 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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