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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Speisen von flüssigem Rohmaterialgas
摘要
申请公布号 DE69513748(D1) 申请公布日期 2000.01.13
申请号 DE19956013748 申请日期 1995.08.02
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 OGURO, KYOJI;KUROSAWA, YASUSHI
分类号 C30B25/14;B01J4/00;C03B19/14;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/00 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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