| 发明名称 |
Ion implantation beam monitor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2339069(A) |
申请公布日期 |
2000.01.12 |
| 申请号 |
GB19980014285 |
申请日期 |
1998.07.01 |
| 申请人 |
* APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
BERNARD FRANCIS * HARRISON |
| 分类号 |
H01J37/304;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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