| 发明名称 |
Amorphous carbon containing layer and process for its fabrication |
| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Hartstoffschichten auf Basis von amorphen Kohlenwasserstoff, die gegebenenfalls zusätzlich weitere Elemente insbesondere metallische Elemente, enthalten können, mittels eines modifizierten PVD-Verfahrens sowie nach diesem Verfahren erhältliche Hartstoffschichten auf Basis von amorphen Kohlenwasserstoff.</p> |
| 申请公布号 |
EP0971048(A1) |
申请公布日期 |
2000.01.12 |
| 申请号 |
EP19990111615 |
申请日期 |
1999.06.15 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR |
发明人 |
BEWILOGUE, KLAUS, DR.;WITTORF, RALF;HIEKE, ANDRE;DIMIGEN, HEINZ |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C28/04;(IPC1-7):C23C16/30;C23C16/26 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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